PACO > Parylene? > Parylene的涂层过程
 


将经洗涤、活性及掩饰处理(masking)后要涂层的产品装入箱(chamber)内。要涂层的产品在涂层过程中处于常温的箱内。涂层原料包含在chamber反面的玻璃管中由铝箔叠成,被称做“船”的物体中,涂层厚度由“船”内原料的量来调节。

End cap堵住该玻璃管的末端后,涂层过程开始。Vaporizer加热器在保持真空度的同时被加热,涂层原料由固体变成气体,向反面(箱内)压力低的地方移动。

气化的气体向温度在680℃~ 700℃之间的热分解区移动,被高温分成Dimer(二聚物)和Monomer (单体)。Monomer向箱内移动,在箱内重新构成长链形的聚合物,被真空蒸着到所有表面上。

据研究发现,各个分子平均发生10,000次碰撞,气体分子的自由路径非常小,因而以均匀的厚度,慢慢地在整个表面形成非常均匀的涂层 (没有Pin hole,不仅可以对角涂层,而且还可深入非常深且狭小的空间内进行涂层) 。

 

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